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产品名称：高精度荧光光纤温度解调仪FAS1
产品特点：体积小巧，全铝合金外壳，全屏蔽设计，面板固定孔位设计，易于设备内部集成安装；数字温度信号输出，采用标准Modbus RTU协议，易于集成开发。
品牌正品
量身定制
多年行业沉淀高精度荧光光纤温度解调仪专为刻蚀机晶圆温度监测定制，集光源激励和荧光温度解调分析于一体，带有光路自诊断功能，体积小，响应快，准确性高，带数字信号输出，支持标准Modbus RTU 协议等多种协议，支持Ekova多种型号荧光传感器。
荧光光纤测温属于接触式测温方式。该装置依据测量荧光余晖寿命的长短来实现温度测量。涂抹在远处测温端的荧光物质受到特定波长的光激励后,会辐射出相应的荧光能量。撤销掉特定波长的光激励后,荧光余晖开始衰减。荧光余晖持续的长短就取决于位于测温探头上的荧光物质,即待测物质的温度。特定波长光激励的选择和所选的荧光物质是相匹配的,不同的荧光物质的最有效的激发光波长是不同的。选择的时候要重点考虑选择光波长最具有适合激发荧光物质的光激励。通常光激发的荧光物质衰减曲线为单指数形式。
FAS1高精度荧光光纤温度解调仪专为刻蚀机晶圆温度监测定制，集光源激励和荧光温度解调分析于一体，带有光路自诊断功能，体积小，响应快，准确性高，带数字信号输出，支持标准Modbus RTU 协议等多种协议，支持Ekova多种型号荧光传感器。
规格参数
| 测温通道数 | 1 |
| 测温范围 | -20℃~70℃ |
| 测温精度 | ±0.3℃ |
| 分辨率 | 0.05℃ |
| 响应时间 | ≤150ms |
| 工作电压 | DC 24V（输入电压范围DC 12-24V） |
| 功耗 | 500mW |
| 光学接口 | FC |
| 适配的光纤温度传感器型号 | SSA71-F93N-0 |
| 设备尺寸 | 104*81.2*53（长*宽*高 单位mm） |
| 设备重量 | ≤250g |
| 通讯接口 | RS 485 |
| 通讯协议 | 标准Modbus RTU协议 |
| 设备接口 | DB15插针接口 |
| 运行温度 | -20-55℃ |
| 存贮温度 | -40-80℃ |
| 存储相对湿度 | 20%-80%（无凝结） |
外形结构
选型说明
● 蚀刻机热点光纤温度在线监测
● 沉积设备热点光纤温度在线监测
