阿珂法先进
电磁环境下的温度测量专家
首页
解决方案
能源行业
医疗行业
科学研究
集成电路
产品中心
砷化镓温度解调仪
砷化镓温度传感器
荧光温度解调仪
荧光温度传感器
应用软件
其他
云平台
服务支持
常见问题
应用案例
资料下载
视频中心
关于我们
公司简介
企业文化
发展历程
荣誉资质
联系我们
人力资源
新闻资讯
公司新闻
行业资讯
中
EN
当前位置:
解决方案
>
集成电路
Solutions
解决方案
能源行业
医疗行业
科学研究
集成电路
集成电路
半导体领域—静电卡盘荧光光纤温度在线监测系统
静电卡盘表面反应区的温度对稳定工艺至关重要,电子式温度传感器的测温稳定性和精度容易受电磁干扰。刻蚀机反应区存在较强射频场,射频场的磁场干扰会影响电子式温度传感器的稳定性,进而对静电卡盘的温度控制带来不稳定性。荧光温度传感器是使用稀土荧光物质的光学物性来测量温度的光学测温方式,性能不受电磁干扰,结构无导体,还可使用非接触测量,测量手段本身不传导热量,不影响热控。
查看更多 +
微信咨询
电话咨询
+86 0755 2900 1112
在线客服
返回顶部
在线客服