静电卡盘表面反应区的温度对稳定工艺至关重要，电子式温度传感器的测温稳定性和精度容易受电磁干扰。刻蚀机反应区存在较强射频场，射频场的磁场干扰会影响电子式温度传感器的稳定性，进而对静电卡盘的温度控制带来不稳定性。荧光温度传感器是使用稀土荧光物质的光学物性来测量温度的光学测温方式，性能不受电磁干扰，结构无导体，还可使用非接触测量，测量手段本身不传导热量，不影响热控。

TOTF油浸式变压器绕组热点光纤在线监测系统是基于荧光测温原理研发的一套测温系统，可应用于油浸式变压器绕组热点、GIS设备内部热点、气体绝缘式高压开关内部热点温度监测等。系统具有自诊断、测温速度快、精准度高的特点；且荧光光纤传感器工艺成熟，一致性较好；能够在线监测各热点温度信息，并实时显示在本地显示系统及后台数据终端。

开关柜、箱式变电站、母线电缆桥架等是最重要的电气设备组成部分，其动静触头、母线接头、电缆接头等长期处于高电压、大电流的工作状态下，易出现表面氧化腐蚀、紧固螺栓松动、触点和连接处老化等问题，这些问题会导致接触电阻增大，引起温度升高，造成电气安全事故。TOSC电气热点荧光光纤温度在线监测装置利用先进的荧光光纤温度传感器技术，可以动态、实时、安全、精准地提供设备运行“热点”温度信息，防止设备过热而出现突发性的安全事故，实现设备由“定期维修”向“状态检修”的智能模式转变。

环网柜是由多个开关柜组成的环装供电组合体，是供电保障性设备，多数用在对供电持续性和不间断性有要求的领域，目的是保证在任何情况下供电的稳定不间断。因此环网柜自身的稳定性和安全性就显得尤为重要。针对环网柜的特殊构造，Tmeas利用荧光测温原理专门设计了一种堵头式光纤温度传感器，将堵头接入环网柜T型头后，尾部的光接口接入转接光缆，通过转接光缆将激励光输入到探头位置，并接受荧光物质返回的余晖，光纤将余晖信号接入温度解析仪，解析仪将温度解析后通过显示表显示，或将温度数据传输到后台。