电磁环境下的温度测量专家
随时随地掌握设备运行状态
晶圆刻蚀设备——荧光光纤温度在线监测；在Wafer的刻蚀工艺中，温度均匀性对产品良率起着决定性作用；针对等离子环境，采用光纤温度传感技术，实现精准测量！
